探頭		量程	低端分辨率	誤差	zui小曲率半徑 (凸/凹)	zui小測量區域直徑	zui小基體厚度	探頭尺寸
磁感應法	F05	0-500μm	0.1μm	±(1%±0.7μm)	1/5mm	3mm	0.2mm	φ15x62mm
	F1.6	0-1600μm	0.1μm	±(1%±1μm)	1.5/10mm	5mm	0.5mm	φ15x62mm
	F3	0-3000μm	0.2μm	±(1%±1μm)	1.5/10mm	5mm	0.5mm	φ15x62mm
	F10	0-10mm	5μm	±(1%±10μm)	5/16mm	20mm	1mm	φ25x46mm
兩用	FN1.6	0-1600μm	0.1μm	±(1%±1μm)	1.5/10mm	5mm	F0.5mm/N50μm	φ15x62mm
兩用	FN2	0-2000μm	0.2μm	±(1%±1μm)	1.5/10mm	5mm	F0.5mm/N50μm	φ15x62mm
電渦流法	N02	0-200μm	0.1μm	±(1%±0.5μm)	1/10mm	2mm	50μm	φ16x70mm
	N1.6	0-1600μm	0.1μm	±(1%±1μm)	1.5/10mm	2mm	50μm	φ15x62mm
	N2	0-2000μm	0.2μm	±(1%±1μm)	1.5/10mm	5mm	50μm	φ15x62mm
	N10	0-10mm	10μm	±(1%±25μm)	25/100mm	50mm	50μm	φ60x50mm
	N20	0-20mm	10μm	±(1%±50μm)	25/100mm	70mm	50μm	φ65x75mm

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